
白光干涉儀
樣品要求
1. 樣品要求:塊體尺寸50*50*50mm以下均可;需測(cè)磨痕時(shí)請(qǐng)告知技術(shù)顧問(wèn)磨痕長(zhǎng)寬數(shù)據(jù);
2. 特別注意:黑色、透明樣品不能測(cè)試;要求樣品有一定反光性;每個(gè)樣品默認(rèn)一個(gè)測(cè)試位置;弧面測(cè)試一般沒(méi)有粗糙度數(shù)據(jù);
3. 如有其他疑問(wèn),請(qǐng)聯(lián)系前期對(duì)接的技術(shù)顧問(wèn);
常見(jiàn)問(wèn)題
白光干涉儀的測(cè)試原理是什么?
白光干涉儀是利用光學(xué)干涉原理研制開(kāi)發(fā)的超精密表面輪廓測(cè)量?jī)x器。照明光束經(jīng)半反半透分光鏡分威兩束光,分別投射到樣品表面和參考鏡表面。從兩個(gè)表面反射的兩束光再次通過(guò)分光鏡后合成一束光,并由成像系統(tǒng)在CCD相機(jī)感光面形成兩個(gè)疊加的像。由于兩束光相互干涉,在CCD相機(jī)感光面會(huì)觀察到明暗相間的干涉條紋。干涉條紋的亮度取決于兩束光的光程差,根據(jù)白光干涉條紋明暗度以及干涉條紋出現(xiàn)的位置解析出被測(cè)樣品的相對(duì)高度;